扫描电镜(SEM)+能谱仪(EDS)设备介绍

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扫描电子电镜（SEM）是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。是利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，通过收集器和影像放大镜对这些信息进行收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。

扫描电子显微镜（SEM）能够利用高能电子束扫描样品表面，通过电子与样品原子相互作用所产生的各种信号，诸如二次电子、背散射电子等。这些信号会被探测器捕捉并转换成图像，通过这些图像可以揭示样品的表面形貌和结构信息。

扫描电子显微镜（SEM）是一种使用电子束扫描样品表面以实现高倍率成像的设备。它利用发射电子束来扫描样品表面，通过多种相互作用获得样品的形态、成分及晶体结构等信息。

能谱仪（EDS）是一种器械，用于分析样品中的元素种类和含量。它是通过检测电子束与样品互动时所产生的X射线，根据能量分布的差异来区分各种元素，并计算各元素的相对含量。

能谱仪(EDS)需在真空室条件下用电子束轰击样品表面，激发物质发射出特征x射线，根据特征x射线的波长，可定性与半定量分析样品表面微区的成分（即元素周期表中B-U的元素）。需注意的是EDS只能测元素种类和含量，不能做化合物结构和种类的判定。